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愛(ài)德華羅茨泵維修廠(chǎng)家

簡(jiǎn)要描述:EH 機械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會(huì )暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。


應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞

  • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-05-21
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詳細介紹

EH 機械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會(huì )暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
英國愛(ài)德華EH1200羅茨泵 增壓泵

應用
半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2激光

功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應用場(chǎng)合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機械裝置。這可提供:
安靜的無(wú)振動(dòng)運行。
牢靠且防腐蝕。
先進(jìn)的軸封技術(shù),處理艙中不會(huì )出現油污染防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著(zhù)的內部和外部旁通管道及閥門(mén),因此可將維護要求降低。
軸封的設計經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可確保潤滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動(dòng)態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設備的制造商所需要的。

技術(shù)數據


EH250EH500EH1200EH2600EH4200
排量(工作容積)310 m3h-1/ 185 ft3min-1505 m3h-1/ 300 ft3min-11195 m3h-1/ 715 ft3min-12590 m3h-1/ 1525 ft3min-14140 m3h-1/ 2440 ft3min-1
使用前級泵時(shí)的有效抽速240 m3h-1/ 141 ft3min-1350 m3h-1/ 206 ft3min-1840 m3h-1/ 495 ft3min-11750 m3h-1/ 1031 ft3min-13100 m3h-1/ 1825 ft3min-1
泵的壓力差0-180 mbar/0-140 Torr0-110 mbar/0-83 Torr0-90 mbar/0-68 Torr0-80 mbar/0-60 Torr0-60 mbar / 0-45 Torr
進(jìn)氣口連接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
出口連接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
轉速0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm
連續進(jìn)氣口工作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80、E2M80GV160、GV250、E2M80、E2M175GV250、GV400、E2M175、E2M275GV400、E2M275
電機功率




碳氫化合物2.2 kW / 3 hp2.2 kW/3 hp3 kW/4 hp11 kW/15 hp11 kW/15 hp
PFPE1.5 kW / 2 hp1.5 kW/2 hp3 kW/4 hp7.5 kW/10 hp11 kW/15 hp
ATEX2.2 kW2.2 kW3 kW11 kW11 kW
防爆3 hp3 hp4 hp15 hp15 hp
環(huán)境溫度范圍




工作5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F
存儲-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F
最大工作濕度90% RH90% RH90% RH90% RH90% RH
推薦用油Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20
油容量




齒輪箱

1.25 l/1.3 qt3.5 l/3.3 qt3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt6.5 l/7 qt6.5 l/7 qt
軸封儲油器0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt1.5 l/1.4 qt1.5 l/1.4 qt
重量61 kg/134 lb74 kg/163 lb74 kg/163 lb308 kg/679 lb



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